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1? 控制模式:? 手動控制模式超音波清洗機? 自動控制模式；
2 清洗對象：石英環
?自動清洗機 設備形式: 室內放置型；
4 尺寸(參考，含地清洗設備腳)：3500? mm(L)× 1500 mm(W)× 2000+1000? mm(H)；
5? 機台總體洗淨機結構暫定分爲兩部分，機械運行機構裝置與機台上方（可拆卸）；
6? 工藝說明:手動方式實現放件、取件，機械臂自動方式實現槽體間傳送件；
7? 工藝參數（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調）手動由觸摸屏界噴洗機面可設定；
8? 機械臂幾何曲線加減速運動清洗機，沖擊小、運動真空超音波清洗機平穩；
9 爲確保清洗工藝和機械手的使用壽命，機械手由多種工業真空回收機材超音波洗淨設備料和特殊的表面處理構真空清洗機成
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