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  具體管理規定:

  6。1石英舟為易碎物品,操作的石英舟時候 必須輕拿輕放;

  6。2石英舟上、下舟必須2個人配合進行操作;且在移動過程中兩人要面對面水平移動;

  6。3在平時作業中不可用手或其它物品及工具敲打石英舟;

  6。4如石英舟使用到需要清洗時;由兩名清洗人員輕輕抬上專用推車上;一人推推車; 另外一人在旁邊手扶石英舟以防止推車受到碰撞而損壞石英舟;

  6。5在將石英舟放在槳上准備進爐時要先確認好石英舟放置是否平穩並恰到固定位置; 同時要注意避免和設備以及其他位置有碰撞的現像;

  6。6在取需要清陶瓷洗石英舟途中遇到通石英門口時一人打開門並讓門固定不要擺動而碰撞石英 舟;並確定和兩邊門框沒有接觸後輕輕推過去;

  6。7在清洗過程請按照工藝提示單以及SOP規定作業,且特別注意在上舟到石英管清洗機內清 洗或清洗OK取出舟時在確認沒有和清洗機有接觸碰撞的可能性方可移動到指定放置台面上,且放置台面必須保持干淨無水漬;

  6。8硅片擴散完成後,石英舟為高溫狀態,移動石英舟一定要佩戴耐高溫手套;

  6。9在將石英舟放進潔淨櫃中是要先將潔淨櫃門打開;輕輕放進將要放進的層面上,並輕輕兩邊同時用力放到櫃的最裡面;

  6。10為保證擴散的質量,必須每15天對石英舟進行清洗一次;清洗完按照工藝提示規定做飽和工作;

  6。11對不按照規定進行石英舟操作的員工,一經發現將嚴肅處理;

  6。12石英舟每個班進行交接,如有異常情況必須12小時內報告到制造部經理;

  6。13如不按照上述規定作業的,而損壞石英舟的給予重罰;



 

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